集成电路板喷涂生产线是电子制作的完整过程中的关键环节，涉及到多种化学物质的使用，包括清洗剂、光刻胶、剥离液、稀释液等。这些物质在使用的过程中会产生挥发性有机物(VOCs)和其他有害化学气体，形成集成电路板喷涂生产线废气。这些废气最重要的包含含氟化物和硫酸雾的酸性废气、含氨的碱性废气、含异丙醇和光刻胶的有机废气，以及含SiO2的含尘废气和含硅烷、磷烷的工艺尾气。
源头控制：通过改进生产的基本工艺，如使用低VOCs含量的涂料和清洗剂，减少有害化学气体的产生。
化学洗涤：对于酸碱性气体，可通过化学洗涤塔进行中和处理。沸石转轮吸附+RTO：沸石转轮吸附+RTO（蓄热式焚烧）的组合设备，能有效处理VOCs废气，保持稳定运行，效果良好。
喷淋吸收：对于含非水溶性VOCs废气，不得仅采用水或水溶液喷淋吸收方式处理。
某集成电路制造厂在生产的全部过程中产生了大量的VOCs废气，包括异丙醇和丙酮等，这些废气不仅造成大气污染，还可能会引起厂区环境异味。他们采用了“沸石转轮吸附+RTO”的组合设备做VOCs废气治理。沸石转轮吸附了废气中大部分有机成分，使废气中有机成分的含量大幅度降低，而再生区后的废气含有高浓度的有机成分，通过直热式(燃气式)焚化的方式，将有机成分转化为无害的CO2和水，以达到去除有机物的目的。治理后，车间的非甲烷总烃排放浓度和排放速率均能达到相应的排放标准，运行处理效果良好，有实际效果的减少了污染物排放，保障了人体健康和生态平衡。
通过上述案例能够准确的看出，集成电路板喷涂生产线废气治理需要采取多种技术相结合的方式，以实现高效、环保的处理效果。
